深冷水汽捕集泵

COOL2000H

COOL3000H

COOL4000H

在真空腔体内,水汽分子是最典型的环境污染气体,占腔内残余气体 65% 到 95% ,当真空度达到 10E-2Pa时,水汽分子用平常真空泵难排出腔体,是典型的最具副作用的污染气体,是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。为了快速的达到较高的真空度,COOL系列水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔内的水汽,辅助抽真空,在极短的时间达到需求的真空度

COOL系列水汽深冷捕集泵工作原理将一个冷阱盘管或挡板,放置在真空室内的腔壁上或油扩散泵的泵口,通过制冷盘管表面,实现低温冷凝效应,迅速捕集集真空泵统的水汽分子或其它残余气体分子,从而获得洁净的真空环境,提高产品的产量和质量,改善镀膜的品质,提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。

COOL系列水汽深冷捕集泵有单级和双级的配置,双级制冷可单独控制每一路的制冷,两路冷阱盘管或挡板都能被快速除霜。

特点

最大水汽抽速366000L/s

快速捕集水汽、油蒸汽;抽真空时间最多可缩短75%

温度可达到-120℃至-150℃

产品吞吐量的20%上升到100%

在成本/性能上优于液氮制冷

制冷量最大可达4000W

环保型混合冷媒满足所有适用地区的环境要求(京都国际协议)。

自动化控制,支持远程通讯

高清触摸屏,方便操作的面板控制

双级制冷回路配置

应用

替代液氮的经济性选择

在光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统,可以用于真空室内抽吸水汽,以获得更好的薄膜质量

用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油

化学工程,液化工艺气体

系统

除了COOL设备单元外,还提供以下关键组件,如有需要,可以按照您的规格制造:

冷阱盘管和挡板


冷阱盘管一般安装在真空腔室内,或高阀与真空室之间,适用于镀膜材料放气量较大的场合.冷阱盘管同时具有除霜功能,使冷阱盘管在每次开门之前恢复到常温,有利于下次抽真空。

冷阱挡板一般安装在扩散泵上方,主要功能是防止油扩散泵的油气返流,同时也可以抽除水汽,提高真空度。

馈通件

(可单独提供或作为冷阱盘管的一部分)


双通道在保持给入管和返回管之间的热隔离的同时,提供了进入真空腔的法兰。在外部,管接头与制冷剂管路可直接连接。在腔室侧,馈通和内部冷阱管道焊接在一起。

制冷剂管路


“制冷剂管”包括一条给入管和一条返回管,该管带有不锈钢管接头(Parker或VCR),可与COOL System和馈通件配合使用。制冷剂管采用泡沫型保温层绝热?;?,防止暴露在户外空气中,以减少热量损失。

水汽压强表

有效地捕捉水蒸气的最佳温度是多少?

要找到最适合您的真空系统的低温表面温度,请找到下面列出的系统的最终基本压力。然后继续到显示所需低温表面温度的右栏。这个温度表示90%的水蒸气捕获效率。

压力 Torr

温度 ℃

压力 Torr

温度 ℃

5×100

-25.4

5×10-5

-104.9

2×100

-34.4

2×10-5

-109.1

1×100

-40.8

1×10-5

-112.2

5×10-1

-46.8

5×10-6

-115.1

2×10-1

-54.3

2×10-6

-118.1

1×10-1

-59.7

1×10-6

-121.5

5×10-2

-64.8

5×10-7

-124.1

2×10-2

-71.2

2×10-7

-127.5

1×10-2

-75.8

1×10-7

-129.9

5×10-3

-80.1

5×10-8

-132.2

2×10-3

-85.6

2×10-8

-135.2

1×10-3

-89.6

1×10-8

-137.3

5×10-4

-93.4

5×10-9

-139.5

2×10-4

-98.2

2×10-9

-142.1

1×10-4

-101.6

1×10-9

-144.1

Cool System 抽气速度和压力的关系


冷阱低温表面平均温度与外加热负荷的函数关系


技术规格

型号

COOL2000H

COOL3000H

COOL4000H

最大制冷量(W)

2700

3500

4400

理论最大抽速(L/S)

228000

295000

366000

腔体内理论最大抽速(L/S)

154000

198000

242000

极限真空度(Torr)

2×10-8

2×10-8

2×10-8

预制冷时间

<30Min

<30Min

<30Min

冷却时间

≤4Min

≤5Min

≤6Min

除霜时间

≤5Min

≤6Min

≤7Min

冷阱管表面积 ㎡

1

1.6

2.4

冷却要求

水冷,18-32℃,2-4bar

冷却水流量要求(L/min)

>20

>28

>35

冷却水接口

G3/4

G3/4

G3/4

制冷剂

环?;旌闲屠涿?/p>

控制系统

PLC+触摸界面

电源要求

380-400V, AC , 3PH, 50/60Hz

功率

10Kw

13Kw

15Kw

配套附件

冷阱盘管

冷阱挡板

馈通

制冷剂管


*可定制不同形状和尺寸



*可定制不同尺寸






*可选Parker和VCR接头,规格:1寸或2寸





*标准长度2.45米,可定制长度

冷媒

冷水机


*根据设备型号,兼容Polycold设备



*根据设备配置,同时兼容其他水冷设备

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